天津中環(huán) RTP-小型快速退火爐

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下一條： 天津中環(huán) RTP-滑動式快速退火爐

采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗

產品描述

產品應用：

該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗

產品特點：

可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動爐體，加之強風冷設計，可對樣品進行快速升降溫處理；管內測溫設計，溫控精度高,升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設計，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。

產品名稱	RTP-小型快速退火爐
產品型號	RTP-G11103-K
額定功率	9KW
額定電壓	220AC 50/60Hz
溫度可達	1000°C
連續(xù)工作	950°C(<1 小時)
加熱區(qū)長度	300mm
恒溫區(qū)長度	100mm
加熱元件	紅外燈管
溫度控制	國產程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫；
控制精度	±1℃
石英管尺寸	Φ110*380MM
爐管材質	石英管
滑動距離	355mm
滑動方式	手動滑動
建議升溫速度	室溫900℃：30℃/sec 900℃~1000℃： 10℃/sec
外形尺寸	950 X 350 X 530 mm
重量	45Kg
標準配置	氣路總成一套（含真空壓力表）石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個。